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国产刻蚀机
作者/文森特编辑/嘉嘉“我做刻蚀做了四十年,从来没有梦想到可以刻蚀到这种准确的程度”,日前,中微公司董事长、总经理尹志尧对外表示,中微半导体已经实现技术突破,氧化硅、氮化硅、多晶硅三种材料均可以实现0